臥式真空爐
所屬系列:半導體材料專用設備
該設備主要用于藍寶石襯底材料的退火,也適用于各種新材料的退火;具有控溫精度高、產品一致性好、運行平穩、可靠性高等特點,是藍寶石襯底材料及各種新材料的必備工藝設備

技術參數

1、設計溫度:1800℃
2、最大爐膛尺寸:2000mm×600mm×400mm
3、供電電源:AC380V±10%,3相4線, 50Hz
4、加熱元件:硅碳棒或硅鉬棒
5、適用燒結氣氛:氮氣、氬氣、一氧化碳、氫氣、氧氣

產品展示

?