立式退火爐
所屬系列:半導體材料專用設備
該設備主要用于半導體硅晶片的退火、具有控溫精度高、溫度場均衡、升降溫速率快、可靠性高等特點,是制作半導體硅晶片材料的必備工藝設備

技術參數

1、最高設計溫度:1800℃
2、常用溫度:1700℃
3、供電電源:AC380V±10%,3相4線, 50Hz
4、加熱元件:硅鉬棒
5、適用燒結氣氛:氮氣、一氧化碳、氬氣

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